羅茨泵機(jī)組的操作順序:
(2)機(jī)組中有旁通閥時(shí),如圖5所示,先啟動(dòng)水環(huán)泵,接著開動(dòng)羅茨泵,此時(shí),羅茨泵進(jìn)排氣壓差較大,旁通閥自動(dòng)開啟,被抽容器中的氣體一部分經(jīng)過旁通閥進(jìn)入水環(huán)泵,另一部分在羅茨泵的作用下通過該泵也進(jìn)入水環(huán)泵,顯然抽氣速率增加,這樣很快達(dá)到羅茨泵的預(yù)真空,進(jìn)排氣壓差較小,閥門自動(dòng)關(guān)閉(或人工關(guān)閉),機(jī)組正式工作。這種方法能大大縮短預(yù)抽時(shí)間,但設(shè)備較復(fù)雜。
機(jī)組的性能與羅茨泵的性能密切相關(guān),而羅茨泵的性能又隨前泵的不同而有所不同。
受到出口壓力與進(jìn)口壓力之比的影響,亦即若增加前泵的抽氣速率,那么羅茨泵的抽氣速率也會(huì)增大。
時(shí),其機(jī)組的性能曲線有本質(zhì)的差異。由此可見,前泵對(duì)機(jī)組性能有相當(dāng)大的影響。
(4)水環(huán)泵的選擇
所謂水環(huán)泵就是用水作為液環(huán)的液環(huán)泵,用水作液環(huán)有很多優(yōu)點(diǎn),如價(jià)廉、易得、不會(huì)污染環(huán)境等。但也有一個(gè)很大缺點(diǎn),由于水的飽和蒸汽壓高,使得水環(huán)泵的吸入壓力也高。這時(shí)如改用飽和蒸汽壓低的液體作為液環(huán),則可提高泵的限真空度。如果某機(jī)組中羅茨泵大允許的排氣壓力為10torr,則用水作液環(huán)時(shí)還須加大氣泵才能作為該羅茨泵的前泵,若改用礦物油作液環(huán)則不加大氣泵即可作為前泵,這樣可以簡(jiǎn)化裝置。
(5)機(jī)組性能與羅茨泵允許排出壓力
機(jī)組的性能在很大程度上取決于羅茨泵的允許排出壓力。這種允許值越低,水環(huán)泵作為前泵的可能性就越小。如果羅茨泵這種允許值為1~10torr,而不論單、多的水環(huán)泵限壓力大大高于這個(gè)數(shù)值,因此就不可能單獨(dú)與這種羅茨泵組合使用,而需要加二大氣泵。如果羅茨泵排出壓力允許值在100torr以上,則前的水環(huán)泵也可以作為羅茨泵的前泵的前泵,這就大大地?cái)U(kuò)充了前泵的應(yīng)用范圍。